全自動氦質(zhì)譜檢漏儀作為高精度檢測設(shè)備，在航空航天、半導(dǎo)體制造、核工業(yè)等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。為確保其長期穩(wěn)定性和準確性，定期的校準與維護是不可少的。以下將從校準和維護兩個方面詳細闡述全自動氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)方法。 校準
1.校準周期與標準
根據(jù)制造商的推薦和儀器的使用頻率，通常應(yīng)定期（如每季度或每年）對氦質(zhì)譜檢漏儀進行校準。校準的目的是確保儀器的測量精度符合標準要求。校準應(yīng)使用具有已知漏率的標準漏孔，其漏率應(yīng)在儀器的測量范圍內(nèi)，并且精度得到保證。
2.校準環(huán)境與條件
校準應(yīng)在穩(wěn)定的環(huán)境溫度和濕度條件下進行，一般建議環(huán)境溫度為(23±5)℃，相對濕度不大于80%，且校準過程中室溫變化不超過±1℃。同時，校準設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強電磁場等外部干擾，以保證校準結(jié)果的準確性。
3.校準步驟
-準備階段：確保儀器處于預(yù)熱狀態(tài)，所有連接部件安裝正確，無漏氣現(xiàn)象。
-零點校準：首先進行零點校準，即在沒有氦氣泄漏的情況下，調(diào)整儀器使其示值為零。
-標準漏孔校準：將已知漏率的標準漏孔接入檢漏儀系統(tǒng)，待示值穩(wěn)定后讀取并記錄數(shù)據(jù)。重復(fù)測量多次（一般三次），取平均值以減少誤差。
-數(shù)據(jù)處理：根據(jù)標準漏孔的漏率和檢漏儀的示值計算示值誤差，并進行必要的溫度修正。如果誤差超出允許范圍，需進行進一步的調(diào)整或維修。
4.自校功能
部分全自動氦質(zhì)譜檢漏儀具備自校功能。在發(fā)現(xiàn)示值誤差較大時，可利用此功能進行內(nèi)部校準，以恢復(fù)儀器的精度。
維護
1.清潔保養(yǎng)
-外殼與表面：定期使用柔軟的布或紙巾擦拭儀器外殼和控制面板，去除灰塵和污垢。避免使用刺激性和腐蝕性的化學物品，以防損壞表面材質(zhì)或影響儀器性能。
-真空系統(tǒng)：保持真空腔體、真空管道、真空閥門的清潔干燥。定期清潔這些部件，防止粉塵、顆粒物等污染物進入并污染真空系統(tǒng)。
2.氦氣供應(yīng)檢查
確保氦氣供應(yīng)充足，并且供應(yīng)管路未受損。檢查供應(yīng)系統(tǒng)的壓力表和流量計，確保其正常工作。如發(fā)現(xiàn)異常，及時修理或更換。
3.真空泵維護
-定期檢查真空泵泵油位和顏色，如發(fā)現(xiàn)油位過低或油色變深，應(yīng)及時更換泵油。
-定期進行前級真空泵的換油和深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，確保真空泵的正常運行。
4.密封性能檢查
定期檢查真空系統(tǒng)的密封性能和高壓密封接口是否老化，并及時更換老化的密封件。這有助于防止漏氣并維持真空系統(tǒng)的性能。
5.探測器保護
漏氣探測器是氦質(zhì)譜檢漏儀的核心部件之一，需特別保護。避免敲擊或損壞探測器，保持其表面干凈和無雜質(zhì)。定期檢查探測器的工作狀態(tài)，如有問題及時維修或更換。
6.軟件與固件更新
定期關(guān)注制造商發(fā)布的最新軟件和固件版本，并根據(jù)需要下載并安裝。這有助于提升儀器的性能和穩(wěn)定性，并修復(fù)已知的問題。
7.儲存與運輸
在不使用氦質(zhì)譜檢漏儀時，注意妥善儲存和運輸。避免長時間曝露在潮濕、高溫和塵埃環(huán)境中，以防止儀器受損和性能下降。使用適當?shù)陌b和保護材料，確保儀器在運輸過程中不受損壞。
通過遵循上述校準與維護步驟，可以確保全自動氦質(zhì)譜檢漏儀的長期穩(wěn)定性和準確性，延長其使用壽命，并為用戶提供可靠的漏氣檢測服務(wù)。
