一、工作原理
基于質(zhì)譜分析原理，通過測量空氣中的氦氣濃度來檢測密封部件的泄漏情況。在氦質(zhì)譜檢漏過程中，首先將待檢測的部件置于一個密封的環(huán)境中，然后向該環(huán)境中注入一定量的氦氣。如果部件存在泄漏，氦氣就會通過這些泄漏口逸出，從而在部件周圍形成一定的氦氣濃度。通過測量該環(huán)境中的氦氣濃度，就可以判斷出部件是否存在泄漏以及泄漏的程度。
二、主要由以下幾個部分組成：
真空泵：用于將待檢測部件置于高真空環(huán)境中，以減少外部環(huán)境對檢測結(jié)果的影響。
氦氣源：用于向待檢測部件注入一定量的氦氣，以便于后續(xù)的檢測。
質(zhì)譜室：用于對空氣中的氦氣進行質(zhì)譜分析，以測量其濃度。
控制系統(tǒng)：用于控制整個檢漏過程的進行，包括真空泵的啟動與關(guān)閉、氦氣的注入與抽取等。
三、特點
高精度：采用先進的質(zhì)譜分析技術(shù)，能夠精確地測量空氣中的氦氣濃度，從而實現(xiàn)對密封部件的高精度泄漏檢測。
自動化程度高：控制系統(tǒng)能夠自動控制整個檢漏過程，大大提高了檢漏效率。
應(yīng)用范圍廣：可用于各種不同類型和規(guī)格的密封部件的泄漏檢測，如圓筒、平面、管道等。
對環(huán)境影響小：在檢漏過程中，全自動氦質(zhì)譜檢漏儀注入的氦氣量很少，不會對環(huán)境造成明顯影響。
安全性高：采用高精度的傳感器和先進的控制系統(tǒng)，能夠保證檢漏過程的安全性。
三、應(yīng)用
全自動氦質(zhì)譜檢漏儀被廣泛應(yīng)用于各種制造業(yè)和實驗室中，如汽車制造、化工生產(chǎn)、制藥行業(yè)、食品加工等。在這些領(lǐng)域中，密封部件的泄漏可能會導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降、環(huán)境污染等問題，因此需要進行精確的泄漏檢測。
